對(duì)于真空泵來(lái)說(shuō)，真空度往往是衡量真空泵性能的一個(gè)指標(biāo)。滑閥真空泵的真空度應(yīng)該首先是滿足用戶需要和保證穩(wěn)定運(yùn)行，通常用戶很少在極限壓力下使用，所以我們不應(yīng)該片面追求真空度。泵的真空度主要取決于各密封處的密封程度和泵油的質(zhì)量。
1.泵油的質(zhì)量
泵油的質(zhì)量包括泵油本身質(zhì)量和使用質(zhì)量，我國(guó)自從SH/T 0528- 1992《礦物油型真空泵油》標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布后，按該標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)的優(yōu)質(zhì)泵油的質(zhì)量，經(jīng)與國(guó)外同類泵油在雙級(jí)泵上做對(duì)比試驗(yàn)，用MKS 公司的薄膜真空計(jì)測(cè)得的真空度基本一致，說(shuō)明我國(guó)優(yōu)質(zhì)泵油的質(zhì)量已達(dá)到國(guó)外同類泵油的水平。而一級(jí)品和合格品則稍差一些，主要表現(xiàn)在全壓上有一定差距，而分壓則無(wú)多大差別。在使用質(zhì)量上，據(jù)用戶反映，國(guó)產(chǎn)泵油抗乳化能力稍差，油水不易分離，所以在抽除含有水蒸氣的氣體時(shí)，泵一定要開(kāi)氣鎮(zhèn)閥。
2.動(dòng)密封
通常指軸與油封之間的密封，首先是對(duì)軸上安裝油封處粗糙度的要求，要保證在0.4~0.8 μm，高速時(shí)取小值。軸與軸套的表面硬度要求達(dá)到HRC(55~58)，軸與油封唇口之間必須保持一定厚度的潤(rùn)滑油膜，它既起到潤(rùn)滑作用，又起到密封作用，所以油的清潔度要求很高，最好不要用泵內(nèi)的工作油。偏心是造成油封異常磨損，破壞油封密封性的主要原因。偏心又可分為動(dòng)態(tài)偏心與靜態(tài)偏心兩種，動(dòng)態(tài)偏心，也就是軸的跳動(dòng)，是由于軸的振動(dòng)和軸承的徑向跳動(dòng)所引起的軸的偏心轉(zhuǎn)動(dòng)，一般不要大于0.15 mm。靜態(tài)偏心是由于油封座與軸之間的偏心或油封內(nèi)、外圓的偏心所致。兩種偏心導(dǎo)致一個(gè)結(jié)果，使油封唇口對(duì)軸表面的接觸壓力分布不均，導(dǎo)致軸和油封產(chǎn)生偏磨損，造成內(nèi)漏則影響真空度，造成外漏則向外漏油，所以應(yīng)將偏心導(dǎo)致限制在一定的范圍內(nèi)，一般要求總偏心不要超過(guò)0.3 mm。
3.活動(dòng)密封
活動(dòng)密封包括排氣閥、溢流閥的密封和泵腔內(nèi)各相關(guān)零部件之間的活動(dòng)間隙密封。
a.排氣閥、溢流閥的密封
排氣閥關(guān)閉的密封程度直接影響到油箱內(nèi)略高于大氣壓的氣體向泵腔內(nèi)返流的問(wèn)題，如關(guān)閉不嚴(yán)會(huì)嚴(yán)重影響到泵的真空度。造成關(guān)閉不嚴(yán)的主要原因是閥片變形、碎裂、或者是閥片跳動(dòng)時(shí)導(dǎo)向不良造成閥片擱住。
排氣閥關(guān)閉不及時(shí)也會(huì)影響泵的真空度，例如為了減少高真空時(shí)的消耗功率和噪聲而采用壓緊閥與浮動(dòng)閥相結(jié)合的復(fù)合排氣閥時(shí)，單級(jí)泵一般不會(huì)出現(xiàn)問(wèn)題，而使用在雙級(jí)泵上時(shí)，由于低真空腔與油箱內(nèi)的壓差相對(duì)較小，尤其是在轉(zhuǎn)速較高時(shí)，浮動(dòng)閥就會(huì)出現(xiàn)不能及時(shí)關(guān)閉的現(xiàn)象，從而影響泵的真空度。雙級(jí)泵高真空腔的溢流閥如采用浮動(dòng)閥，則由于兩邊壓差更小，問(wèn)題會(huì)更突出。
排氣閥彈簧力在保證閥密封性的前提下，可取得小一些，如壓緊力過(guò)大，會(huì)增大消耗功率。過(guò)去一些仿制泵彈簧壓緊力達(dá)1.2×105 Pa，經(jīng)我們反復(fù)試驗(yàn)求證，認(rèn)定取1.02~1.1×105 Pa 較合適，不但減少了消耗功率，噪聲也下降了。
b.泵腔內(nèi)各零部件之間的間隙密封
泵腔各零部件之間的間隙尤以導(dǎo)軌與滑閥(桿)、導(dǎo)軌與泵體之間的間隙最為重要，通過(guò)這兩個(gè)間隙返流的氣體是以稍高于大氣壓的狀態(tài)返流到泵進(jìn)口的，所以對(duì)真空度的影響最大。采用分體導(dǎo)軌時(shí)氣體返流的影響更大，因?yàn)榉煮w導(dǎo)軌在泵排氣時(shí)，導(dǎo)軌與滑閥(桿)、導(dǎo)軌與泵體之間的兩個(gè)間隙集中反映到導(dǎo)軌與泵體之間的一個(gè)間隙上(如圖1 所示)。而整體導(dǎo)軌在泵排氣時(shí)仍保持兩個(gè)間隙，(如圖2 所示)。所以從提高泵的真空度和抽速的角度來(lái)說(shuō)，以采用整體導(dǎo)軌為好。
實(shí)驗(yàn)證明也是如此，我們?cè)?50 L/s 的泵上做過(guò)整體導(dǎo)軌和分體導(dǎo)軌的對(duì)比試驗(yàn)，為了保證二者有同樣的間隙，分體導(dǎo)軌用整體導(dǎo)軌拆解而成。實(shí)測(cè)結(jié)果，分體導(dǎo)軌時(shí)泵的真空度要低一些，噪聲要高2 dB(A)左右(后面另作分析)。必須指出，分體導(dǎo)軌容易咬死，所以間隙要適當(dāng)放大。